Наукові публікації університету

Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones


ID: 102484
Кількість показів: 97
дата змінення: 18.02.2017 16:28:54
Ким змінено (ім'я): (rff8) Сергій Фесенко
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Наукова стаття
Кількість сторінок:  3
Рік видання:  2013
Звітний рік:  2013
Видання:  Problems of Atomic Science and Technology: Plasma Physics
Том:  1
Номери сторінок:  189-191
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Костюкевич Олександр Миколайович / Богданов Роман Вікторович
Кафедра / Відділ:  Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору