Наукові публікації університету

Influence of discharge’s current density distribution in the magnetron sputtering device with two erosion zones on sputtering device with two erosion zones


ID: 136271
Кількість показів: 67
дата змінення: 18.02.2017 20:04:52
Ким змінено (ім'я): (rff8) Сергій Фесенко
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Праці конференції
Кількість сторінок:  2
Рік видання:  2014
Звітний рік:  2014
Том:  14
Номери сторінок:  68-69
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Костюкевич Олександр Миколайович / Богданов Роман Вікторович
Кафедра / Відділ:  НДЛ Фізичної електроніки / Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Ключові слова:  комп'ютерне моделювання
Опубліковано за рішенням Вченої ради:  ні
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору