Наукові публікації університету

Zoned target in the experimental investigation of the magnetron sputtering device with two erosion zones


ID: 136372
Кількість показів: 100
дата змінення: 18.02.2017 17:00:24
Ким змінено (ім'я): (rff8) Сергій Фесенко
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Наукова стаття
Кількість сторінок:  4
Рік видання:  2013
Звітний рік:  2014
Видання:  Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Радіофізика та електроніка
Том:  20
Випуск, частина:  2
Номери сторінок:  7-11
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кафедра / Відділ:  НДЛ Фізичної електроніки / Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Опубліковано за рішенням Вченої ради:  ні
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору