Наукові публікації університету

Computer Simulation of Sputtering of The Graphite Target in The Magnetron Sputtering Device with Two Zones of Erosion


ID: 155898
Кількість показів: 128
дата змінення: 11.11.2015 12:40:11
Ким змінено (ім'я): (rff4) Галина Левада
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Наукова стаття
Кількість сторінок:  13
Рік видання:  2015
Звітний рік:  2015
Видання:  Materials Science-Poland
Том:  33
Номери сторінок:  82-94
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кількість недоданих авторів:  0
Кафедра / Відділ:  НДЛ Фізичної електроніки / Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Опубліковано за рішенням Вченої ради:  ні
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору