Наукові публікації університету

Computer Simulation of Carbon Film Deposition in Magnetron Sputtering Device with Two Erosion Zones


ID: 156076
Кількість показів: 107
дата змінення: 11.11.2015 17:13:58
Ким змінено (ім'я): (rff4) Галина Левада
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Праці конференції
Кількість сторінок:  2
Рік видання:  2015
Звітний рік:  2015
Видання:  International Young Scientists' Conference on Applied Physics
Том:  15
Номери сторінок:  59-60
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кількість недоданих авторів:  1
Кафедра / Відділ:  НДЛ Фізичної електроніки / Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Ключові слова:  Computer Simulation of Carbon Film Deposition in Magnetron Sputtering Device with Two Erosion Zones
Опубліковано за рішенням Вченої ради:  ні
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору