Наукові публікації університету

Computer Simulation of Carbon Target Sputtering and Atoms Transport in Magnetron Sputtering Device with Two Erosion Zones


ID: 156834
Кількість показів: 121
дата змінення: 16.11.2015 17:44:58
Ким змінено (ім'я): (rff4) Галина Левада
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Праці конференції
Кількість сторінок:  3
Рік видання:  2015
Звітний рік:  2015
Видання:  Інтелектуальні системи прийняття рішень та проблеми обчислювального інтелекту (ISDMCI): Міжнародна наукова конференція
Номери сторінок:  10-12
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кількість недоданих авторів:  0
Кафедра / Відділ:  НДЛ Фізичної електроніки / Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Опубліковано за рішенням Вченої ради:  ні
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору