Наукові публікації університету

Аналітичний розрахунок умов субмікронного щавлення пласкої поверхні кварцу


ID: 246469
Кількість показів: 24
дата змінення: 24.06.2020 13:17:54
Ким змінено (ім'я): (rff13) Ніна Поліщук
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Наукова стаття
Кількість сторінок:  12
Рік видання:  2019
Звітний рік:  2020
Видання:  Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Том:  17
Випуск, частина:  4
Номери сторінок:  637-648
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Григорук Валерій Іванович / Колєнов Сергій Олександрович
Автори зовнішні:  В. Канєвський
Кафедра / Відділ:  Квантової радіофізики
№ теми:  19БФ052-04
Опубліковано за рішенням Вченої ради:  ні
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору