Наукові публікації університету

Автоматизована установка безконтактного контролю якості технологічних обробок напівпровідникових пластин


ID: 47762
Кількість показів: 53
дата змінення: 14.10.2014 09:45:54
Ким змінено (ім'я): (admin) Адміністратор НДЧ
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Наукова стаття
Кількість сторінок:  10
Рік видання:  2006
Звітний рік:  2007
Видання:  Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Фізико-математичні науки
Том:  1
Номери сторінок:  308.0000
Автори,співробітники Університету:  Жарких Юрій Серафимович
Кафедра / Відділ:  Електрофізики
Ключові слова:  Автоматизована установка, контроль, напівпровідник, пластини
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору