Наукові публікації університету

Фазовые переходы фасетирования в кремниевых пленках при отжиге


ID: 51525
Кількість показів: 60
дата змінення: 14.10.2014 09:50:36
Ким змінено (ім'я): (admin) Адміністратор НДЧ
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Тези
Кількість сторінок:  1
Рік видання:  2007
Звітний рік:  2007
Номери сторінок:  376.0000
Автори,співробітники Університету:  Находкін Микола Григорович / Куліш Микола Полікарпович / Родіонова Тетяна Василівна
Кафедра / Відділ:  Кріогенної та мікроелектроніки
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору