Наукові публікації університету

Фасетирование границ зерен в поликремниевых пленках при отжиге


ID: 64270
Кількість показів: 66
дата змінення: 14.10.2014 10:05:57
Ким змінено (ім'я): (admin) Адміністратор НДЧ
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Праці конференції
Кількість сторінок:  3
Рік видання:  2009
Звітний рік:  2009
Видання:  Фізика і технологія тонких плівок та наносистем: Міжнародна конференція
Том:  0
Автори,співробітники Університету:  Находкін Микола Григорович / Куліш Микола Полікарпович / Родіонова Тетяна Василівна
Кафедра / Відділ:  Кріогенної та мікроелектроніки
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору