Наукові публікації університету

Комп’ютерне моделювання магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії


ID: 92854
Кількість показів: 93
дата змінення: 18.02.2017 22:32:58
Ким змінено (ім'я): (rff8) Сергій Фесенко
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Наукова стаття
Кількість сторінок:  11
Рік видання:  2012
Звітний рік:  2012
Видання:  Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Фізико-математичні науки
Випуск, частина:  1
Номери сторінок:  249-260
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кафедра / Відділ:  Радіотехніки та радіоелектронних систем
№ теми: 
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору