Наукові публікації університету

The computer simulation of the sputtering magnetron device with two erosion zones and it comparision to experimental results


ID: 93086
Кількість показів: 82
дата змінення: 18.02.2017 16:01:02
Ким змінено (ім'я): (rff8) Сергій Фесенко
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Праці конференції
Кількість сторінок:  2
Рік видання:  2012
Звітний рік:  2012
Видання:  International Young Scientists' Conference on Applied Physics
Том:  12
Номери сторінок:  182-183
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кафедра / Відділ:  Фізичної електроніки
№ теми: 
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору