Наукові публікації університету

Radial distribution of the discharge current on the cathode-target of magnetron sputtering device with two erosion zones


ID: 98243
Кількість показів: 96
дата змінення: 18.02.2017 16:24:40
Ким змінено (ім'я): (rff8) Сергій Фесенко
Вид роботи:  Наукова публікація
Тип роботи:  Праці конференції
Кількість сторінок:  2
Рік видання:  2013
Звітний рік:  2013
Видання:  International Young Scientists' Conference on Applied Physics
Том:  13
Номери сторінок:  107-108
Галузь науки:  Фізика
Автори,співробітники Університету:  Богданов Роман Вікторович / Костюкевич Олександр Миколайович
Кафедра / Відділ:  Фізичної електроніки
№ теми: 
Інститут/Факультет:  Факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем

Повернення до списку

Вгору